Elektronenmikroskop

EP2696363 Art A1 12. Februar 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2696363
Aktenzeichen: EP12764716
Anmeldetag: 29. Februar 2012
Veröffentlichung: 12. Februar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/16H01J37/26H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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