Vakuumpumpensystem

EP2697514 Art A1 19. Februar 2014

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2697514
Aktenzeichen
EP12716535
Anmeldetag
28. März 2012
Veröffentlichung
19. Februar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/08F04B37/14F04D19/04F04C25/02C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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