Heissdrahtverfahren zur Abscheidung von Halbleiter-Material auf einem Substrat und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

EP2699711 Art B1 4. März 2015

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2699711
Aktenzeichen: EP12724070
Anmeldetag: 30. März 2012
Veröffentlichung: 4. März 2015
Erteilung: 4. März 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/24C23C16/32C23C16/448H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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