Elektronische Vorrichtung mit untiefen Grabenisolationsregionen (STI) mit unterer Oxidabdichtung und oberer Nitridabdichtung und zugehörige Verfahren
Anmelder: STMicroelectronics, Inc., International Business Machines Corporation, COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2701187
- Aktenzeichen
- EP13179641
- Anmeldetag
- 7. August 2013
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2016
- Erteilung
- 26. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L29/786H01L29/66H01L21/762
Abstract
An electronic device may include a substrate, a buried oxide (BOX) layer overlying the substrate, at least one semiconductor device overflying the BOX layer, and at least one shallow trench isolation (STI) region in the substrate and adjacent the at least one semiconductor device. The at least one STI region defines a sidewall surface with the substrate and may include an oxide layer lining a bottom portion af the sidewall surface, a nitride layer lining a top portion of the sidewall surface above the bottom portion, and an insulating material within the nitride and oxide layers.
Anmelder
- Firmen
- STMicroelectronics, Inc.
International Business Machines Corporation
COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇺🇸 USA
Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.
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US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
Page White & Farrer wurde bereits 1977 als Londoner Kanzlei europäischer Patentanwälte eingetragen, mit weiteren Büros in Leeds, Exeter und München. Berät zu Patenten, Marken, Designrechten sowie IP-Strategie und Finanzierungsrunden, Schwerpunkte Künstliche Intelligenz, Life Sciences und Cleantech.