Vorrichtung und Verfahren zur Selbsteinstellung eines Verarbeitungssystems

EP2702457 Art B1 9. Mai 2018

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2702457
Aktenzeichen
EP12715714
Anmeldetag
14. März 2012
Veröffentlichung
9. Mai 2018
Erteilung
9. Mai 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G05B19/042
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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