Sputtertarget und Herstellungsverfahren dafür

EP2703519 Art B1 6. April 2016

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation, Solar Frontier K.K., Showa Shell Sekiyu K. K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2703519
Aktenzeichen: EP12777599
Anmeldetag: 24. April 2012
Veröffentlichung: 6. April 2016
Erteilung: 6. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C22C9/00H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsubishi Materials Corporation
Solar Frontier K.K.
Showa Shell Sekiyu K. K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von