Hocheffiziente CMOS-kompatible Gitterkoppler mit rückseitigem Metallspiegel
EP2703858
Art B1
1. Februar 2017
Anmelder: Universität Stuttgart, Institut Für Mikroelektronik Stuttgart 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2703858
- Aktenzeichen
- EP12006205
- Anmeldetag
- 31. August 2012
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2017
- Erteilung
- 1. Februar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B6/30
Abstract
The invention generally relates to grating couplers based on silicon-on-insulator technology. On the back side of the wafer membrane windows are etched extending to the buried oxide layer of the SOI wafer and a mirror layer is then deposited within the membrane windows on the back side of the buried oxide layer.
Anmelder
- Firmen
- Universität Stuttgart
Institut Für Mikroelektronik Stuttgart - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Universität Stuttgart
Deutsche Universität mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften, betreibt Forschung unter anderem in Fahrzeugtechnik, Luft- und Raumfahrt sowie Materialwissenschaft.
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