Verfahren zur Herstellung von elektrischen Durchkontaktierungen und damit hergestellte Vorrichtung

EP2704187 Art B1 19. August 2015

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2704187
Aktenzeichen: EP13194159
Anmeldetag: 2. April 2004
Veröffentlichung: 19. August 2015
Erteilung: 19. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L23/48H01L23/00H01L23/31H01L25/065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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