Mehrpunkt-Sammeloptik

EP2705354 Art B1 20. Januar 2016

Anmelder: Applied Materials Israel, Ltd., Carl Zeiss SMT GmbH, Applied Materials Israel Ltd. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2705354
Aktenzeichen: EP12779351
Anmeldetag: 2. Mai 2012
Veröffentlichung: 20. Januar 2016
Erteilung: 20. Januar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/62G01N23/22H01J37/244H01J37/28// G01N21/25G01N21/64G01J1/04G01T1/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel, Ltd.
Carl Zeiss SMT GmbH
Applied Materials Israel Ltd.
Land: 🇮🇱 Israel

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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