Feinkörnige, nichtgestreifte Refraktärmetall-Zerstäubungstargets mit einheitlich willkürlicher Kristallausrichtung, Verfahren zur Herstellung einer solchen Schicht und Vorrichtungen auf Dünnschichtbasis und Produkte daraus
EP2706129
Art A1
12. März 2014
Anmelder: H.C. STARCK, Inc., H.C. Starck GmbH 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2706129
- Aktenzeichen
- EP13184639
- Anmeldetag
- 2. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 12. März 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34H01J35/08B22F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- H.C. STARCK, Inc.
H.C. Starck GmbH - Land
- 🇺🇸 USA
🇩🇪
H.C. Starck
H.C. Starck ist ein deutsches Unternehmen für Spezialmetalle und Werkstoffe wie Tantal und Wolfram mit Sitz in Goslar. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterwerkstoffe, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2019.
278 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Zumstein, Angela
München, Deutschland
421
Patente gesamt
29
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte