Verfahren, Vorrichtung und Verwendung der Vorrichtung zur zerstörungsfreien quantitativen Bestimmung von Schichtdicken eines Schichten aufweisenden Körpers

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2706351

Aktenzeichen

EP13182047

Anmeldetag

28. August 2013

Veröffentlichung

6. Juli 2016

Erteilung

6. Juli 2016

Rechtsraum

EP

IPC

G01B7/06G01N27/72

Abstract

Die Erfindung betrift ein Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicken eines Schichten aufweisenden Prüfkörpers (4), mit einer äußeren Deckschicht (1) und einer im Prüfkörper angeordneten Basisschicht (2), wobei die Deckschicht und die Basisschicht unterschiedliche magnetische Eigenschaften und Stoffzusammensetzung aufweisen mit den Verfahrensschritten: - Erzeugen eines magnetischen Wechselfeldes; - Messen der magnetischen Feldstärke; - Messen des Oberwellengehalts des Zeitsignals der tangentialen Magnetfeldstärke in Abhängigkeit von der magnetischen Feldstärke; - Messen der Überlagerungspermeabilität in Abhängigkeit von der magnetischen Feldstärke und - Bestimmen der Schichtdicke zumindest einer der Schichten durch ein statistisches Analyseverfahren, auf Basis der gemessenen Werte des Oberwellengehalts des Zeitsignals der tangentialen Magnetfeldstärke und der Überlagerungspermeabilität. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung geeignet zur Durchführung des Verfahrens und die Verwendung der Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicken eines Prüfkörpers (4), wobei zumindest eine der Schichten (1), (2), (3) des Prüfkörpers (4), insbesondere die Deckschicht (1) paramagnetisch oder diamagnetisch ist.

Anmelder

Firmen

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer-ges. zur Förderung der Angewandten Forschung E.V.

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete