Verfahren zum Betrieb eines Teilchenstrahlgerätes

EP2706553 Art B1 24. April 2019

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2706553
Aktenzeichen
EP13183357
Anmeldetag
6. September 2013
Veröffentlichung
24. April 2019
Erteilung
24. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/141H01J37/10H01J37/28H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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