Tröpfchengenerator mit durch ein Stellglied Aktivierter Düsenreinigung

EP2707099 Art A1 19. März 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2707099
Aktenzeichen: EP12851811
Anmeldetag: 29. März 2012
Veröffentlichung: 19. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: A61N5/06G01J3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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