Filter für eine Materialzufuhrvorrichtung

EP2709743 Art A1 26. März 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2709743
Aktenzeichen: EP12790335
Anmeldetag: 20. März 2012
Veröffentlichung: 26. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: B01D35/00B01D29/56B22F3/105

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von