Herstellungsverfahren für ein Beugungsgitter, Spektrophotometer und Herstellungsverfahren für eine Halbleitervorrichtung
EP2711746
Art A1
26. März 2014
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2711746
- Aktenzeichen
- EP12785149
- Anmeldetag
- 17. Mai 2012
- Veröffentlichung
- 26. März 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/18G01J3/18G03F1/54G03F7/20H01L21/027H01L21/26G01J3/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hitachi High-Technologies Corporation
Hitachi, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
3.840 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
16.329 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Calderbank, Thomas Roger
London, Großbritannien
1.660
Patente gesamt
34
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte