Lithographie-Spülflüssigkeit und Strukturbildungsverfahren damit
EP2711776
Art A1
26. März 2014
Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials USA Corp. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2711776
- Aktenzeichen
- EP12760446
- Anmeldetag
- 22. März 2012
- Veröffentlichung
- 26. März 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/32H01L21/027G03F7/40H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials USA Corp. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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