Phenolharz und Material zur Bildung eines Unterschichtfilms für die Lithographie

EP2716671 Art B1 10. Oktober 2018

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2716671
Aktenzeichen: EP12793749
Anmeldetag: 30. Mai 2012
Veröffentlichung: 10. Oktober 2018
Erteilung: 10. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C08G8/04G03F7/11H01L21/027// C08G8/00G03F7/00H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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