Mikromechanisches Einstellbares Fabry-Perot-Interferometer und Herstellungsverfahren dafür
EP2718685
Art B1
19. Oktober 2016
Anmelder: Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2718685
- Aktenzeichen
- EP12796485
- Anmeldetag
- 29. Mai 2012
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2016
- Erteilung
- 19. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J3/26G02B26/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Teknologian Tutkimuskeskus VTT
- Land
- 🇫🇮 Finnland
🇫🇮
VTT Technical Research Centre of Finland
VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
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Kupiainen, Juhani Kalervo
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