Massenspektrometrie für eine Gasanalyse mit einer Zweistufigen Deflektorlinse für Geladene Teilchen zwischen einer Geladenen Teilchenquelle und einem Geladenen Teilchenanalysator, Beide mit Versatz von einer Zentralen Achse der Deflektorlinse
EP2718960
Art B1
22. April 2020
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2718960
- Aktenzeichen
- EP12724801
- Anmeldetag
- 17. Mai 2012
- Veröffentlichung
- 22. April 2020
- Erteilung
- 22. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J49/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Greene, Simon Kenneth
Sevenoaks, Großbritannien
2.080
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Weitere Vertreter
-
Elkington and Fife LLP
Elkington and Fife LLP · Sevenoaks