Regenerationsverfahren für eine Sputtering-Tantalspule

EP2719793 Art B1 8. November 2017

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation, JX Nippon Mining & Metals Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2719793
Aktenzeichen
EP12835348
Anmeldetag
14. September 2012
Veröffentlichung
8. November 2017
Erteilung
8. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/00H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JX Nippon Mining & Metals Corporation
JX Nippon Mining & Metals Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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