Plasmaerzeugungsquelle mit einem Bandförmigen Magneten und Dünnfilmabscheidungssystem damit
Anmelder: Korea Basic Science Institute 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2720518
- Aktenzeichen
- EP12797155
- Anmeldetag
- 1. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2016
- Erteilung
- 28. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H01L21/205C23C16/50H01J37/32H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Basic Science Institute
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.
258 Patente in unserer Datenbank
M. Zardi & Co. SA, 1999 gegründete Kanzlei für geistiges Eigentum mit Sitz in Lugano im Kanton Tessin. Berät zu Patenten, Marken und Design und vertritt Mandanten vor dem Eidgenössischen Institut für Geistiges Eigentum, dem Europäischen Patentamt und der WIPO.