Evakuieren einer Kammer

EP2721304 Art B1 12. September 2018

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2721304
Aktenzeichen
EP12726479
Anmeldetag
31. Mai 2012
Veröffentlichung
12. September 2018
Erteilung
12. September 2018
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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