Vakuumpumpe und Rotor dafür

EP2722527 Art B1 22. Mai 2019

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2722527
Aktenzeichen
EP12800013
Anmeldetag
2. April 2012
Veröffentlichung
22. Mai 2019
Erteilung
22. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/08F04D29/32F04D29/52F04D27/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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