Ätzung eines Lasergeschnittenen Halbleiters vor dem Dicing eines Die-Attach-Films (daf) oder einer Schicht aus einem Anderen Material
EP2724366
Art A2
30. April 2014
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2724366
- Aktenzeichen
- EP12803461
- Anmeldetag
- 22. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 30. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/78H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
334 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
McCrann, Sarah Ann
London, Großbritannien
100
Patente gesamt
23
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte