Hintergrundreduzierungssystem mit einer Jalousie
EP2726906
Art A1
7. Mai 2014
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2726906
- Aktenzeichen
- EP12804981
- Anmeldetag
- 7. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/244// H01J37/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
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16
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