Hermetisch Abgedichtete Mems-Vorrichtung mit einem Herausragenden Teil mit Vertikal Integrierter Elektronik

EP2727132 Art B1 3. Februar 2016

Anmelder: InvenSense, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2727132
Aktenzeichen
EP12805169
Anmeldetag
29. Juni 2012
Veröffentlichung
3. Februar 2016
Erteilung
3. Februar 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00G01F1/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
InvenSense, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 InvenSense

InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.

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