Ätzlösung und Ätzverfahren damit

EP2727977 Art B1 20. Februar 2019

Anmelder: ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA, ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2727977
Aktenzeichen: EP12804272
Anmeldetag: 27. Juni 2012
Veröffentlichung: 20. Februar 2019
Erteilung: 20. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033H01L21/3213G03F7/004G03F7/32C09K13/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA
ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Asahi Kasei

Asahi Kasei ist ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Tokio, der in den Bereichen Chemie und Kunststoffe, Wohnungsbau sowie Medizintechnik tätig ist. Das 1922 gegründete Unternehmen zählt zu den größten Chemiekonzernen Japans.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von