Ätzlösung und Ätzverfahren damit
EP2727977
Art B1
20. Februar 2019
Anmelder: ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA, ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2727977
- Aktenzeichen
- EP12804272
- Anmeldetag
- 27. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 20. Februar 2019
- Erteilung
- 20. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/033H01L21/3213G03F7/004G03F7/32C09K13/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA
ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan