Farbstoffadsorptionsvorrichtung und Farbstoffadsorptionsverfahren

EP2728663 Art A1 7. Mai 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2728663
Aktenzeichen
EP12805290
Anmeldetag
24. April 2012
Veröffentlichung
7. Mai 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01G9/20H01M14/00H01L31/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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