Farbstoffadsorptionsvorrichtung und Farbstoffadsorptionsverfahren
EP2728663
Art A1
7. Mai 2014
Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2728663
- Aktenzeichen
- EP12805290
- Anmeldetag
- 24. April 2012
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01G9/20H01M14/00H01L31/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München