Verfahren und Vorrichtung zur Kontinuierlichen Beschichtung von Substraten

EP2729594 Art B1 4. November 2015

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2729594
Aktenzeichen: EP12746037
Anmeldetag: 9. Juli 2012
Veröffentlichung: 4. November 2015
Erteilung: 4. November 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/54C23C16/458H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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