Winkelspektroskopellipsometrie für Mehrere Analysegeräte
EP2729789
Art A1
14. Mai 2014
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2729789
- Aktenzeichen
- EP12807285
- Anmeldetag
- 3. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/21G01J4/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte