Verfahren zur Abscheidung von Siliziumnitridschichten
EP2730676
Art A1
14. Mai 2014
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2730676
- Aktenzeichen
- EP14154472
- Anmeldetag
- 1. April 2011
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/448H01L21/205C23C16/34C23C16/36C23C16/44C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte