Stromversorgung für eine Quelle von mittels Plasmaentladung Erzeugter Euv Strahlung

EP2732558 Art B1 6. März 2019

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha, USHIO Denki Kabushiki Kaisha, ASML Netherlands BV 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2732558
Aktenzeichen
EP12719613
Anmeldetag
19. April 2012
Veröffentlichung
6. März 2019
Erteilung
6. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H04B3/02H04B3/54H04L25/02H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Ushio Denki Kabushiki Kaisha
USHIO Denki Kabushiki Kaisha
ASML Netherlands BV
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik
Vertreten von
Wasmuth, Rolf Patentanwälte Dipl.-Ing. W. Jackisch & Partner mbB Stuttgart, Deutschland
375
Patente gesamt
32
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektrische Energietechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Kanzlei
Patentanwälte Dipl.-Ing. W. Jackisch & Partner mbB Stuttgart, Deutschland

Stuttgarter Patentanwaltskanzlei mit langjähriger Erfahrung im nationalen und internationalen gewerblichen Rechtsschutz, berät und vertritt Mandanten in Patent-, Marken- und Designangelegenheiten.

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