Sputtertarget und Herstellungsverfahren dafür

EP2733235 Art B1 3. Mai 2017

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2733235
Aktenzeichen
EP12836521
Anmeldetag
12. September 2012
Veröffentlichung
3. Mai 2017
Erteilung
3. Mai 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34H01L21/28H01L21/285H01J37/34B21D53/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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