Verarbeitungsanzeigevorrichtung, Verarbeitungsanzeigeverfahren, Computerprogramm und Verarbeitungsvorrichtung

EP2733558 Art B1 18. März 2020

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2733558
Aktenzeichen: EP12814346
Anmeldetag: 12. Juli 2012
Veröffentlichung: 18. März 2020
Erteilung: 18. März 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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