Verfahren zur Reinigung von Metallgate-Halbleitern

EP2733724 Art B1 24. Mai 2017

Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2733724
Aktenzeichen: EP12811679
Anmeldetag: 22. Juni 2012
Veröffentlichung: 24. Mai 2017
Erteilung: 24. Mai 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304H01L21/027H01L21/28H01L21/336H01L29/78H01L21/02H01L21/311H01L21/67

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

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