Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung Partikelarmer Schichten auf Substraten

EP2735018 Art B1 19. Oktober 2016

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2735018
Aktenzeichen: EP12737303
Anmeldetag: 23. Juli 2012
Veröffentlichung: 19. Oktober 2016
Erteilung: 19. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/35C23C14/50C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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