Zusammensetzung für Dünnschichtbildung für Lithografie Beinhaltend Titan und Silizium

EP2735904 Art A1 28. Mai 2014

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2735904
Aktenzeichen: EP12815272
Anmeldetag: 20. Juli 2012
Veröffentlichung: 28. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/09C08G79/00G03F7/40H01L21/027H01L21/311G03F7/11

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von