Entwickler für ein Verfahren zur Bildung von Resistmustern

EP2738605 Art A3 8. Juli 2015

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2738605
Aktenzeichen: EP14150102
Anmeldetag: 26. März 2012
Veröffentlichung: 8. Juli 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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