Verfahren zur Korrektur einer Fotomaske

EP2738791 Art B1 19. August 2015

Anmelder: Dai Nippon Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2738791
Aktenzeichen: EP14000706
Anmeldetag: 4. Februar 2010
Veröffentlichung: 19. August 2015
Erteilung: 19. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F1/00G03F1/36G03F1/32G03F1/72

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dai Nippon Printing

Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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