Haftschichtlaminat zum Temporären Bonden eines Wafers auf einem Träger, Wafer-Behandlungslaminat Bestehend aus dem Träger, dem Haftschichtlaminat und dem Wafer, Wafer-Bearbeitungselement Bestehend aus dem Träger und dem Haftschichtlaminat, und Verfahren zur Hestellung eines Dünnen Wafers unter Verwendung des Haftschichtlaminats
EP2738797
Art B1
16. August 2017
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2738797
- Aktenzeichen
- EP13005059
- Anmeldetag
- 23. Oktober 2013
- Veröffentlichung
- 16. August 2017
- Erteilung
- 16. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09J7/00C09J183/04H01L21/683H01L21/18// C08G77/16
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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