Mikrokristallsiliziumdünnfilm-PECVD mit Wasserstoff und Silanmischungen
EP2740817
Art A1
11. Juni 2014
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2740817
- Aktenzeichen
- EP12306522
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 11. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/24C23C16/509H01L31/18H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte