Plasmaerzeugungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung Rotierender Elektroden für die Plasmaerzeugungsvorrichtung, Verfahren zur Plasmabehandlung eines Substrats und Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilms aus einer Mischstruktur mittels des Plasmas
EP2744307
Art A2
18. Juni 2014
Anmelder: Korea Institute of Machinery & Materials 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2744307
- Aktenzeichen
- EP12821442
- Anmeldetag
- 10. August 2012
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/34C23C16/50H01L21/205H05H1/24C23C16/503C23C16/509H01J9/02H01J37/32H05H1/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Institute of Machinery & Materials
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Institute of Machinery & Materials
Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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Tomlinson, Kerry John
London, Großbritannien
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