Nachweis von Grossen Partikeln für Multispot- Oberflächenabtastungsinspektionssysteme
EP2745312
Art A1
25. Juni 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2745312
- Aktenzeichen
- EP12823532
- Anmeldetag
- 3. August 2012
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01N21/55G01N21/88G01N21/94G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
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Schwerpunkte