Simulation von Schrotrauscheffekten auf ein Teilchenstrahl-Lithografieverfahren und insbesondere Elektronenlithografie
EP2746851
Art A3
26. Juli 2017
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, Aselta Nanographics, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2746851
- Aktenzeichen
- EP13195869
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Aselta Nanographics
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
8.392 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Tanguy, Yannick
Paris, Frankreich
74
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Gevers & Orès
Gevers & Orès · Paris La Défense