Strukturformungsverfahren mithilfe von Elektronenstrahlen oder EUV-Strahlen und Verwendung dieses Verfahrens zur Herstellung einer integrierten Halbleiterschaltung mit feinen Strukturen

EP2746853 Art B1 22. Juli 2020

Anmelder: FUJIFILM Corporation, Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2746853
Aktenzeichen: EP13199335
Anmeldetag: 19. Februar 2010
Veröffentlichung: 22. Juli 2020
Erteilung: 22. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/32G03F7/038H01L21/027G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FUJIFILM Corporation
Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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