Verfahren zur Herstellung mindestens eines Nanoelements auf Siliziumbasis in einer Siliziumoxydschicht, und Herstellungsverfahren einer Vorrichtung mit mindestens einem solchen Nanoelement.

EP2747140 Art B1 20. November 2019

Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2747140
Aktenzeichen
EP13197816
Anmeldetag
17. Dezember 2013
Veröffentlichung
20. November 2019
Erteilung
20. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/06B82Y10/00B82Y40/00H01L29/16H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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