Schutz einer Maskenabschirmung mit Kantenausschluss

EP2748350 Art B1 21. Januar 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2748350
Aktenzeichen: EP11751866
Anmeldetag: 25. August 2011
Veröffentlichung: 21. Januar 2015
Erteilung: 21. Januar 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/04C23C16/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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