Reflexionsmaske und Verfahren zu Ihrer Herstellung

EP2750164 Art B1 1. August 2018

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2750164
Aktenzeichen: EP12825834
Anmeldetag: 24. August 2012
Veröffentlichung: 1. August 2018
Erteilung: 1. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F1/24B82Y10/00B82Y40/00G03F1/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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