Wässrige Zusammensetzung zur Ätzung von Kupfer und Kupferlegierungen
Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2754732
- Aktenzeichen
- EP13151243
- Anmeldetag
- 15. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 11. März 2015
- Erteilung
- 11. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C22/52C23F1/18H05K3/06C23F1/02C23F1/46// H05K3/38
Abstract
The present invention relates to an aqueous composition for and a process for etching copper and copper alloys applying said aqueous composition. The aqueous composition comprises a source for Fe 3+ ions, at least one acid, at least one triazole or tetrazole derivative, and at least one etching additive selected from N-alkylated iminodipropionic acid, salts thereof, modified polyglycol ethers and quaternary ureylene polymers. The aqueous composition is particularly useful for making of fine structures in the manufacture of printed circuit boards, IC substrates and the like.
Anmelder
- Firmen
- MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.
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Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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