Plasmagenerator und Cvd-Vorrichtung

EP2755453 Art B1 7. August 2019

Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2755453
Aktenzeichen
EP12829740
Anmeldetag
19. April 2012
Veröffentlichung
7. August 2019
Erteilung
7. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/24C23C16/452C23C16/505H01L21/31C23C16/503H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation

Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.

940 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen